دانلود مقالات ISI رسوب بخار شیمیایی یا انباشت به روش تبخیر ...
رسوب بخار شیمیایی (به انگلیسی: Chemical vapor deposition) یا انباشت به روش تبخیر شیمیایی به اختصار( CVD) یکی از روشهای شیمیایی لایه نشانی است که در تولید لایههای بسیار خالص میکروبلورین در فناوری نیم رساناها به کار میرود.