پمپهای دیفیوژن روغنی - مکانیزم
پمپ دیفیوژن روغنی (oil diffusion pump) با یک روغن با فشار بخار کم کار میکند. هدف آن رسیدن به خلاء تا حد امکان بالاتر از چیزی است که با استفاده از پمپهای جابهجایی مثبت (positive displacement pumps) به تنهایی به دست میآید.